真空泵的介紹

輸運式泵又可細分為機械式氣體輸運泵和氣流式氣體輸運泵。旋轉式機械真空泵、羅茨泵以及渦輪分子泵是機械式氣體運輸泵的典型例子，而油擴散泵則屬于氣流式氣體運輸泵。捕獲式真空泵包括低溫吸附泵、濺射離子泵等。